晶圆探针测试
2024-07-10
晶圆探针测试:从原理到应用 随着半导体技术的不断发展,晶圆探针测试作为一种重要的测试手段,已经成为了半导体制造领域不可或缺的一部分。晶圆探针测试可以用来测试晶圆的电学性能,并且可以在晶圆制造过程中及时发现和解决问题,从而提高晶圆的质量和产量。本文将从原理到应用,全面介绍晶圆探针测试的相关知识,希望能够为读者提供一些有用的参考。 原理 晶圆探针测试是一种通过在晶圆表面接触式测试,来测试晶圆电学性能的方法。测试时,晶圆被放置在一个测试台上,测试头通过探针与晶圆表面接触,然后通过测试仪器来测量晶圆的