探索新型半导体材料中的salicide技术 什么是salicide技术？ Salicide技术是一种半导体工艺，全称为Self-aligned silicide technology。它是一种通过将金属硅化物沉积到半导体器件上，从而形成电极的方法。该技术可用于制造高速、高密度的半导体器件。 为什么需要salicide技术？ 在传统的半导体工艺中，电极是通过在半导体器件上沉积金属层来制造的。这种方法存在一些问题。金属与半导体之间的接触电阻很大，这会导致电路性能下降。金属层可能会与半导体反应，导致